精測(cè)電子：上海精測(cè)的主要產(chǎn)品有膜厚量測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)系統(tǒng)、電子束缺陷檢測(cè)系統(tǒng)等

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：請(qǐng)問一下上海精測(cè)半導(dǎo)體所生產(chǎn)的檢測(cè)機(jī)產(chǎn)品屬于納米級(jí)電子束缺陷檢測(cè)裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備（CD-SEM）大類嗎？在國(guó)際上的產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力如何？

精測(cè)電子（300567.SZ）9月21日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，現(xiàn)階段，上海精測(cè)的主要產(chǎn)品有膜厚量測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)系統(tǒng)、電子束缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、明場(chǎng)晶圓有圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備、大硅片應(yīng)力形貌量測(cè)設(shè)備等，其中電子束產(chǎn)品主要屬于電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）。

(記者 畢陸名)

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