國內首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備出機，科創半導體ETF（588170）盤中交易活躍

截至2025年8月21日 10點21分，上證科創板半導體材料設備主題指數下跌1.11%。成分股方面，新益昌領跌3.58%，上海合晶下跌3.53%，和林微納下跌2.99%，天岳先進下跌2.90%，京儀裝備下跌2.79%。科創半導體ETF（588170）下跌1.39%，最新報價1.13元。拉長時間看，截至2025年8月20日，科創半導體ETF（588170）近1周累計上漲5.51%。流動性方面，科創半導體ETF（588170）盤中換手12.09%，成交4988.34萬元，市場交投活躍。

拉長時間看，截至8月20日，科創半導體ETF（588170）近1周日均成交1.04億元。規模方面，科創半導體ETF（588170）近1月規模增長1.51億元，實現顯著增長。份額方面，科創半導體ETF（588170）近1月份額增長1.04億份，實現顯著增長。資金流入方面，科創半導體ETF（588170）最新資金凈流出6447.46萬元。拉長時間看，近23個交易日內有17日資金凈流入，合計“吸金”1.13億元，日均凈流入達492.51萬元。

東海證券認為，2025上半年全球智能眼鏡市場同比增長110%，預計2024至2029年間該市場將保持超過60%的復合年增長率，Meta以73%占據主導地位，小米、RayNeo等新銳廠商加速布局，推動AI眼鏡市場熱度持續攀升。國產半導體設備在28納米電子束量測設備和電子束光刻機進行突破，為提升我國半導體產業鏈自主可控能力提供關鍵支撐。當前電子行業需求處于溫和復蘇階段，建議關注AI服務器產業鏈、AIOT、設備材料、汽車電子國產化。

相關ETF：公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。