每日經濟新聞 2023-05-29 15:47:55
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：日本對euv掩膜版設備進行了限制，MueTec的掩膜版檢測設備能否進行國產替代？
天準科技（688003.SH）5月29日在投資者互動平臺表示，Muetec的掩膜檢測設備已經可以覆蓋65-90nm工藝，目前尚未達到EUV掩膜檢測設備的精度。
(記者 賈運可)
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