至純科技：公司制程設備覆蓋半導體領域的各類設備，以濕法清洗設備為主

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問董秘，貴司說一季度21億新簽訂單中制程設備2.12億，是指清洗設備嗎？貴司友商盛美稱公司的清洗設備已經覆蓋90-95%的清洗工藝，并稱新客戶在今年銷售份額里占有較大比重。請問貴司清洗設備的覆蓋工藝程度以及今年在半導體行業清洗設備新簽訂單的趨勢如何？

至純科技（603690.SH）6月29日在投資者互動平臺表示，公司制程設備覆蓋半導體領域的各類設備，以濕法清洗設備為主。公司濕法清洗設備在28納米全部工藝工序段已通過驗證并有重復訂單。公司還領先突破了原來由國外壟斷的單片SPM設備。

(記者 蔡鼎)

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