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      上海新陽(yáng):光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)屬于光刻膠配套材料,公司處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段

      每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-05-10 21:20:23

      每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn):年報(bào)顯示上海新陽(yáng)集成電路制造用高端光刻膠系列產(chǎn)品為公司面向芯片制造領(lǐng)域開發(fā)的電子光刻系列產(chǎn)品。包括 I 線光刻膠、KrF 光刻膠、ArF 干法、浸沒式光刻膠以及稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)等配套材料。 請(qǐng)問(wèn):光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)是否為完成研發(fā)新產(chǎn)品?

      上海新陽(yáng)(300236.SZ)5月10日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)屬于光刻膠配套材料,公司處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段。

      (記者 畢陸名)

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