炬光科技：公司光場勻化器供應給世界頂級光學企業A公司

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司在為荷蘭ASML核心供應商A公司提供光刻機用光場勻化器、半導體晶圓激光退火系統與核心元器件的同時，是否也將此類產品提供給上海微電子等國產自主光刻機的研發和制備上？另外，和A公司在光刻機用光學模組等新品類上的深度合作是否在穩步推進中？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投資者互動平臺表示，公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器（招股書中“光場勻化器——光刻應用”），供應給世界頂級光學企業A公司，最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備。同時，公司與國內在這一領域的研發單位有廣泛合作。公司在招股書“與半導體光刻產業的融合情況”中原文“公司是A公司重要供應商。同時也為中國科學院、上海微電子裝備（集團）股份有限公司、美國科磊半導體等行業知名半導體集成電路設備科研和生產機構提供相關產品。” 2022年起得益于半導體市場DUV光刻市場需求強烈，終端客戶產能擴張迅速，應客戶要求公司已于2022年在德國完成產能擴充，未來公司在A公司的市占率將進一步提升，同時公司與A公司也有意向進一步往光學模組等產品品類展開合作，雙方合作在穩步推進中，客戶項目進展情況請以公司披露信息為準。

(記者 姚祥云)

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