每經記者｜朱成祥    每經編輯｜董興生    

1月2日上午，ASML（阿斯麥）方面向《每日經濟新聞》記者提供的資料顯示，荷蘭政府部分撤銷了此前頒發的NXT:2050i和NXT:2100i光刻機在2023年發貨的出口許可證，這將對ASML在中國內地的個別客戶產生影響。

根據ASML官網消息，其浸沒式DUV光刻機主要包括NXT:2100i、NXT:2050i、NXT2000i和NXT1980Di，此次荷蘭政府部分撤銷出口許可證的兩種型號DUV光刻機，為其繼NXT2000i之后推出的兩種最新的浸沒式DUV光刻機。

除了EUV光刻機、浸沒式DUV光刻機，ASML還生產銷售干式ArF（氟化氬）光刻機、KrF（氟化氪）光刻機以及i線光刻機。

ASML表示，美國政府在近期與ASML的溝通中，對其出口管制的適用范圍和影響進行了進一步澄清。美國2023年10月17日發布最新出口管制規則，限制向個別先進芯片制造晶圓廠發運特定型號的中高端DUV浸潤式光刻機。

ASML稱，公司持續致力于遵守經營所在國家/地區所有適用的法律和法規，包括出口管制法規。預計此次出口許可證撤銷及最新的美國出口管制限制不會對公司2023年的財務情況產生重大影響。

2023年9月，ASML曾回復《每日經濟新聞》記者稱，目前，ASML已向荷蘭政府提出NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證申請，荷蘭政府也已經頒發了截至2023年9月1日所需的許可證，允許ASML2023年繼續發運NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。

彼時，ASML表示，公司客戶也已知悉出口管制條例所帶來的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發運這些設備的出口許可證。

1月2日，針對美國已經要求ASML停止向中國出口某些型號的光刻機，外交部發言人汪文斌主持例行記者會時回應，我們注意到有關的報道，中方一貫反對美國泛化國家安全概念，以各種借口脅迫其他國家搞對華科技封鎖。半導體是高度全球化的產業，在各國經濟深度融合的背景下，美方有關霸道、霸凌行徑嚴重違背國際貿易規則，嚴重破壞全球半導體產業格局，嚴重沖擊國際產業鏈、供應鏈的安全和穩定，必將自食其果。