萬業(yè)企業(yè)：總面積達109畝、14萬方的嘉芯半導(dǎo)體新研發(fā)制造基地嘉于今年11月8日正式建成投產(chǎn)

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問嘉興半導(dǎo)體新廠房投產(chǎn)了嗎，上次說的11月投產(chǎn)

萬業(yè)企業(yè)（600641.SH）12月1日在投資者互動平臺表示，總面積達109畝、14萬方的嘉芯半導(dǎo)體新研發(fā)制造基地嘉于今年11月8日正式建成投產(chǎn)，嘉芯半導(dǎo)體是由萬業(yè)企業(yè)和國際技術(shù)團隊聯(lián)合創(chuàng)辦的集成電路前道設(shè)備平臺型公司。目前嘉芯半導(dǎo)體業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多類主制程設(shè)備以及尾氣處理等支撐制程設(shè)備，為汽車芯片、功率芯片、邏輯芯片等集成電路晶圓制造廠提供成套的前道設(shè)備解決方案。成立至今，嘉芯半導(dǎo)體已成功獲得快速熱處理（RTP）設(shè)備，氮化硅、側(cè)墻、金屬等離子刻蝕機，高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD)，摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD），二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD），鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD），鋁銅金屬濺射設(shè)備（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)），雙燃燒+雙水洗尾氣處理設(shè)備等多類設(shè)備訂單，成立后累計訂單金額超4.7億元。

(記者 蔡鼎)

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