每日經濟新聞 2023-09-06 08:36:40
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：28nm的明場缺陷檢測設備國內是否有其他廠商目前已經有能力生產交付？謝謝。
天準科技（688003.SH）9月6日在投資者互動平臺表示，近日，天準科技參股的蘇州矽行半導體覆蓋65-90nm節(jié)點的明場缺陷檢測設備正式交付客戶試用，28nm節(jié)點檢測設備正在研發(fā)中。
(記者 尹華祿)
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