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      南大光電:目前公司ArF光刻膠驗(yàn)證重點(diǎn)是90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)

      每日經(jīng)濟(jì)新聞 2022-09-16 15:40:52

      每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺提問:請問老師,如果貴司能購買到缺陷檢測分析儀器,目前貴司的Arf光刻膠能不能提升一個(gè)等級,用于14nm或者7nm芯片的制造?

      南大光電(300346.SZ)9月16日在投資者互動(dòng)平臺表示,目前公司ArF光刻膠驗(yàn)證重點(diǎn)是90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)。

      (記者 曾健輝)

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