每日經濟新聞 2022-08-19 16:15:29
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問：21年3月芯刻微購買，用于研發分辨率達28nm ArF濕法光刻膠的ASMLXT1900Gi型二手光刻機安裝調試是否完成？這臺光刻機價值多少? 另外28nm ArF濕法光刻膠研發進展如何是否有送樣客戶端驗證？
上海新陽（300236.SZ）8月19日在投資者互動平臺表示，公司采購的ASMLXT1900Gi型光刻機尚處于調試狀態；ArF浸沒式光刻膠產品已有樣品在測試階段。
(記者 陳鵬程)
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