截至10月17日14:52，上證科創板半導體材料設備主題指數下跌4.37%。成分股方面，神工股份領跌8.21%，華海誠科下跌7.79%，晶升股份下跌6.77%，有研硅下跌6.03%，龍圖光罩下跌5.79%。科創半導體ETF（588170）下跌4.28%。

流動性方面，科創半導體ETF盤中換手29.14%，成交9.45億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至10月16日，科創半導體ETF近1周日均成交8.25億元，領先同類。

規模方面，科創半導體ETF近1周規模增長4.87億元，實現顯著增長。截至2025年10月16日，科創半導體ETF規模33.51億元，領先同類。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF （588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備 （61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備 和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF （562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。