每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-01 17:59:18
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：小批量量產(chǎn)的光刻膠最多可以用于幾nm芯片生產(chǎn)工藝？
南大光電（300346.SZ）9月1日在投資者互動平臺表示，目前通過客戶驗證的ArF光刻膠主要應(yīng)用于存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm生產(chǎn)工藝。
(記者 畢陸名)
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