2023-05-09 18:03:14
5月9日消息，中微公司宣布推出自主研發12英寸低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備Preforma Uniflex CW，在保證較低的生產成本和化學品消耗的同時，實現更高的生產效率，預計新產品將有助于公司業務多元化增長。（每經）
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