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      南大光電:公司在研項目第三代安全源產品主要賦予安全源產品高壓儲存、負壓輸出的功能

      每日經濟新聞 2023-03-21 15:16:49

      每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:董秘您好,請介紹下公司在研項目第三代安全源產品

      南大光電(300346.SZ)3月21日在投資者互動平臺表示,第三代安全源產品主要賦予安全源產品高壓儲存、負壓輸出的功能,解決半導體晶圓制作廠商使用安全源時出現的氣體輸出壓力連續周期性振蕩及載氣密度不穩定的問題。

      (記者 王瀚黎)

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