截至2025年10月21日10:48，上證科創板半導體材料設備主題指數強勢上漲2.31%，成分股華興源創上漲6.17%，中科飛測上漲4.55%，安集科技上漲3.98%，晶升股份、新益昌等個股跟漲。科創半導體ETF（588170）上漲2.2%，最新價報1.4元。

流動性方面，科創半導體ETF盤中換手5.73%，成交2.06億元。拉長時間看，截至10月20日，科創半導體ETF近1周日均成交7.75億元，領先同類。

消息面上，截至目前，A股共有140家上市公司對外發布前三季度業績預告，117家預喜，預喜比例約為83.57%。無論從三季報還是三季報業績預告來看，半導體、人工智能、消費電子、通信等科技類公司業績都持續向好。

天風國際證券指出，目前看，半導體板塊中長期邏輯依舊非常好。一方面，需求在持續擴張，整體盤子在擴大。另一方面，國產替代在推進，中國公司能吃到的份額也在提升。兩點共同指向國內半導體企業價值量不斷上升。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF （588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中 半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF （562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。