每日經濟新聞 2023-12-05 16:44:16
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司用于半導體光刻膠的缺陷檢測掃描電鏡，可用于那一類的光刻膠g線，i 線，KrF，ArF？
鋼研納克（300797.SZ）12月5日在投資者互動平臺表示，公司子公司納克微束生產的場發射掃描電鏡可以用于相關材料缺陷分析，分辨率達到了納米級。
(記者 蔡鼎)
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